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等离子体技术是什么?主要工业应用与原理

等离子体技术指利用电离气体中的离子、电子和活性自由基来完成加工、处理或能量转换的一类工艺。它适合需要高活性、低整体温度或极端高温的场景：半导体制造、材料表面处理、照明、废物处理等。需要先区分低温（冷）等离子体与高温（热）等离子体——前者用于热敏感材料的表...